二次電池・燃料電池

ソリッドステート型マイクロ波電源および自動整合器をお探しの方へ。

ソリッドステート型マイクロ波電源は、マイクロ波プラズマの発生源、マイクロ波の加熱源として使用されます。
自動整合器は、負荷インピーダンスが不整合になった際に自動的にインピーダンス整合を処理するために使用され、製品名は3E TUNERです。
成膜、エッチング、アニール、アッシング、イオン注入など多様な製造装置へ使用されています。